Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro-Electro-Mechanical Systems (N/MEMS)

Materials Design, Fabrication, Packaging and Reliability of Nano and Micro-Electro-Mechanical Systems (N/MEMS)

Willoughby, Arthur; Kasap, Safa; Yavuz, Mustafa; Capper, Peter

John Wiley and Sons Ltd

06/2021

424

Dura

Inglês

9781119130796

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